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主要应用领域 Application Fields ：
■ precision metrology精密计量
sub-micron coordinate measuring machines 亚微米坐标测量机
flatness and roundness measuring systems 平面和圆度测量系统
vision and optical inspection 视觉和光学检测
automotive, medical, electronics, optical components 自动化/医疗/电子/光学器件
Roundness, squareness, flatness, concentricity, cylindricity 圆度、垂直度、平面度、同心度、圆柱度的计量
■ magnetic and optical
memory manufacturing 磁存储器和光存储器制造
disk drive read/write head machine 磁盘驱动器读写头制造机床
disk and head inspection 磁盘和磁头检测
air bearing spin stands 空气轴承旋转台
optical disk mastering 光盘控制
precision grinding, dicing, and slicing 精密磨削、切块、切片
tape head machining磁头制造机床
flying height testing 高度测试
■ semiconductor半导体：
substrate coating 感光底层涂敷
memory repair 存储器修补
laser direct writing 激光直接记录
microscope XY inspection 显微镜平面检测
wafer probing 晶片探针检测
wire bonding引线接合
■ optical manufacturing
光学制造
lens and mirror diamond turning machines 镜头和金刚石镜面车削机床
optical grinding machines 光学磨削机床
precision rotary scanning 精密旋转扫描
diamond fly cutting machines 金刚石飞切机床
contact lens lathes 隐性眼镜镜片车床
encoder and grating ruling engines 编码器和光栅刻线机
■ high resolution imaging
高分辨率成像
flat panel display 平板显示
internal and external drum plotters 内外滚筒扫绘图仪
constant velocity motion 匀速运动
■ machining systems 机械加工机构
diamond turning 金刚石镟切
freeform grinding 平磨
precision flycutting 精密高速车削
raster flycutting 光栅高速车削
milling 铣
.:: 气体轴承的优点 :..
■ 速度高
国际上已成商品的高速空气轴承牙钻，转速达500000r/min,我国研制成功的超高速精密空气主轴，转速达330000r/min,其线速度达130~140m/s；而小型氦透平膨胀机转速达到650000r/min,线速度为238m/s。若按dn值计算（轴承内径乘转速值），主轴为2640000mm﹒r/min，膨胀机为4550000mm﹒r/min。这速度是滚动轴承与油滑轴承所望尘莫及的（滚动轴承dn值，一般不超过200×10mm.r/min）。
■ 精密度高
气体轴承本身的制造精度高，气膜又具有匀化作用，所以气体轴承的精度比滚动轴承高2个数量级，且振动、噪声值也低。比如，美国西北太平洋实验室研制的一种Omega纳米车床（空气轴承支承），加工精度达到0.075μ
m, 加工表面粗糙度Ra0.0011μ m.。日本芝浦电气有限公司研制的空气轴承超精密镗铣头，加工表面粗糙度最大值在Ra0.06~0.02μ
m.，平面度达0.1μ m。目前，国际上超精密镜面车床（空气轴承）主轴回转精度已达到0.025μ m.，国内试制的同类车床主轴回转精度为0.05μ
m。
■ 摩擦损耗小
气体粘度为油粘度的千分之一，所以，由气膜引起的摩擦力矩比油膜低3个数量级。轴承摩擦低，对主机的干扰力矩小，功率损耗小，这是理想支承技术所追求的目标。
■ 具有耐高温、地温及原子辐射的能力
油、脂润滑剂，高温挥发、低温凝固，原子辐射下分解变质。气体润滑剂不存在这些问题。高温气体轴承可承受300~500℃，低温可在-263℃下工作。
■ 无污染或少污染
气体轴承一般用空气或惰性气体做润滑剂，所以，润滑剂排放对环境无任何污染。少数采用如CO、CH等做润滑剂的轴承，一般都在封闭状态下工作，对环境影响也不大。气体轴承的振动、噪声低，也比滚动轴承对环境的污染小。
■ 寿命长
滚动轴承致命的弱点是寿命短、寿命分布离散，特别是高速轴承更甚，一般工作寿命只有几十小时到几百小时。气体轴承在正常工作时，无金属接触，理论上无磨损，轴承寿命应该是无限长。考虑其他条件的限制，轴承寿命至少也在一万小时以上
，而且能始终保持精度不变。就是纯动压气体轴承，由于存在起停瞬间的接触摩擦，寿命受一定影响，但在选配合适的轴承材料时，其寿命仍比同类滚动轴承高的多。陶瓷动压轴承起停次数可达
5万次，一般钢制轴承起停次数也有数千次。
■ 结构简单、便于推广利用
多数气体轴承都是圆柱型或平板型构件，采用通用设备，制造方便。少数特殊结构，如螺旋槽动压轴承，需要专门设备加工，也不难解决。润滑气体取自环境，或外部加压供给，只须过滤净化；余气自由排放，使装置大大简化。
■ 免维护
在洁净工作条件下（工作环境、气源），正常的使用和正确的操作（没有突然断气、过载），空气轴承由于具有超长的使用寿命，所以不需要通常的定期维护或维修的。
.:: 气体轴承的缺点::..
■ 承载小、刚度低
气体轴承的承载能力比油轴承大约低1~2个数量级。以比承载（单位面积的承载力）计算，油轴承一般为（0.5~2.）×1000000N/m，而气体轴承只有（2~4）×10000N/m。气体轴承适用于轻载精密支承。
■ 可靠性差
一方面是气体轴承容易失稳，出现气锤振动或涡动现象；另一方面上轴承易卡滞，乃至发生咬合或抱轴现象。
■ 制造精度高、造价昂贵
由于气膜很薄，一般在几微米到十几微米之间，所以对部件加工精度要求较高。对螺旋槽、多孔质等特殊轴承，需专用加工设备，所以造价比较高。
■ 工作条件苛刻
主要是清洁条件及严格的操作规程。气体轴承从部件加工到总体装配，都有要求严格的清洗和全面净化，对轴承工作环境也要求净化和干燥；轴承工作必须严格遵守规定的程序。这些苛刻的条件，确能保证轴承正常工作，不出现意外损坏，但却在一定程度上限制了它的推广应用。
我国在70年代曾经经历过一次空气轴承研究和应用的高潮，许多单位在国家的支持下大量地使用了空气轴承产品，但是由于设计生产方的问题以及客户使用方面的问题，使用效果很不理想，空气轴承的使用寿命还不如滚珠轴承，可靠性差更成为致命伤，再加之昂贵的价格，空气轴承产业跌入低谷，人们对空气轴承敬而远之甚至淡忘，直至今日，这种状况都没有得根本改变。我们分析认为主要原因是客户对空气轴承的特性不了解，使用不当所致。生产方对可靠性设计考虑不足是另一个主要原因。因此对空气轴承的缺点必须加以充分的认识和克服。
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